لایه‌نشانی و بررسی خواص لایه نازک کربن شبه الماسی اعمال شده بر پنجره مادون-قرمز سیلیکونی

پنجره­های مادون قرمز به عنوان محافظ سامانه­های الکترواپتیک در صنایع هوایی و فضایی مورد استفاده قرار می­گیرند. با این حال این پنجره­ها تحت تاثیر شرایط نامساعد محیطی قرار گرفته و در نتیجه عملکرد سامانه­های الکترواپتیک نیز دچار اختلال می­شود. اعمال پوشش­های محافظ بر پنجره­های مادون قرمز باعث افزایش عملکرد  این پنجره­ها خواهد شد. در این تحقیق لایه نازک کربن شبه الماسی با استفاده از دو گاز هیدروژن و متان به روش رسوب شیمیایی بخار تقویت شده به کمک پلاسما با منبع تغذیه فرکانس رادیویی(RF-PECVD) بر سطح پنجره­های مادون­قرمز سیلیکونی اعمال گردید. ارزیابی ساختاری پوشش با استفاده از آنالیز پراش­سنجی پرتوایکس و طیف­سنجی رامان صورت گرفت. به منظور تعیین ضریب شکست لایه نازک کربن شبه الماسی روش بیضی­سنجی مورد استفاده قرار گرفت. طیف بازتاب نمونه­ها با استفاده از دستگاهUV-Vis-NIR recording spectrophotometer و همچنین برای اندازه­گیری طیف عبور از روش طیف­سنجی تبدیل فوریه مادون­قرمز استفاده شد. تست سایش ملایم و شدید نیز با هدف بررسی مقاومت سایشی پوشش صورت گرفت. نتایج نشان داد با اعمال لایه نازک کربن شبه الماسی میزان عبور بستره­های سیلیکونی افزایش یافته است. همچنین نتایج تست سایش نشان داد کربن شبه الماسی با ضخامتnm  540 در برابر سایش ملایم و شدید مقاوم بوده و عبور نمونه­ها در اثر سایش کاهش نیافته است